«Росатом» создаст первое в России производство сверхчистого газа для микроэлектроники
Сотрудники Научно-исследовательского института научно-производственного объединения «Луч» (АО «НИИ НПО «Луч», Подольск, входит в Научный дивизион госкорпорации «Росатом») разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. В период с 2023 по 2024 год работа проводилась в рамках государственного контракта с Минпромторгом России. Создание нового участка для производства гексафторида вольфрама в России направлено на импортозамещение, достижение технологической независимости (пока страна не может обходиться без зарубежных поставок этого важного химического вещества).
В настоящее время ведутся работы по проектированию первого в России производственного участка по выпуску этого соединения. Он будет включать полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства гексафторида вольфрама.
«Создание отечественного производства особо чистого гексафторида вольфрама невозможно без разработки технологии полного цикла получения данного соединения, отвечающего современным требованиям охраны труда и экологической безопасности. В результате совместной работы со специалистами Нижегородского государственного университета имени Н. И. Лобачевского, компании ООО «Ферри Ватт», Института химии высокочистых веществ имени Г. Г. Девятых Российской академии наук, Томского государственного университета удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства.
Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения, позволяют достичь технологического суверенитета страны», – подчеркнул генеральный директор АО «НИИ НПО «Луч» Павел Карболин.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
12:40, 7 Августа 26
 Читинская ТЭЦ-1 включила в сеть модернизированный котлоагрегат
дальше..
|
 |
12:37, 7 Августа 26
 На Новокуйбышевской ТЭЦ-1 обследовали газовую турбину с помощью видеоэндоскопа
дальше..
|
|
12:35, 7 Августа 26
 «Омский каучук» обновил оборудование производства высокооктановых компонентов
дальше..
|
|
12:31, 7 Августа 26
 «Курская генерация» модернизировала два муниципальных теплопункта
дальше..
|
|
12:28, 7 Августа 26
 У жителей Соснового Бора появилась возможность проверить здоровье рядом с домом
дальше..
|
|
12:25, 7 Августа 26
 Добывающие предприятия «Роснефти» организовали в Красноярске Фестиваль северной культуры
дальше..
|
|
12:20, 7 Августа 26
 Компания «Росатома» поставит российские инверторы для солнечных электростанций в Забайкалье
дальше..
|
|
10:49, 7 Августа 26
 «РТ-Техприемка» разработала конкурсные задания для чемпионата «Время первых» по трем компетенциям
дальше..
|
|
10:40, 7 Августа 26
 «Тихвинские электрические сети» выявили 10 км незаконных ВОЛС
дальше..
|
|
10:37, 7 Августа 26
 Ростовская АЭС признана победителем регионального этапа конкурса «Российская организация высокой социальной эффективности»
дальше..
|
|
10:09, 7 Августа 26
 В каждой четвертой школе Тульской области появились отечественные станки с ЧПУ
дальше..
|
|
10:01, 7 Августа 26
 В первом полугодии 2026 года таксисты заправились почти на 10 млн кубометров метана
дальше..
|
|
09:12, 7 Августа 26
 ДРСК электрифицирует жилые дома для многодетных семей в Находке
дальше..
|
|
09:04, 7 Августа 26
 В России утвержден национальный регламент по химической продукции
дальше..
|
|
08:56, 7 Августа 26
 Специалисты «Россети Тюмень» приняли участие в аттестации выпускников профильных учебных заведений
дальше..
|
|
08:54, 7 Августа 26
 «Удмуртнефть» отмечает 45 лет разработки Гремихинского месторождения
дальше..
|
|
08:53, 7 Августа 26
 «Россети Волга» проводят аудит электросетевых объектов Оренбуржья
дальше..
|
|
08:50, 7 Августа 26
 При поддержке «Роснефти» доступ к связи и интернету получили свыше 180 родовых угодий в Югре
дальше..
|
|
08:08, 7 Августа 26
 «Россети Сибирь» повысили надежность электроснабжения 10 тысяч жителей в Алтайском крае
дальше..
|
|
08:05, 7 Августа 26
 Кольская АЭС – победитель Всероссийского экологического субботника «Зелёная весна»
дальше..
|
|
07:15, 7 Августа 26
 Сосногорский ГПЗ подтвердил качество выпускаемой продукции
дальше..
|
|
06:55, 7 Августа 26
 СГК в 2026 году обновит в Красноярске 55 километров тепловых сетей
дальше..
|
|
06:47, 7 Августа 26
 На турбоустановке блока №1 АЭС «Аккую» в Турции выполнен пробный набор вакуума
дальше..
|
|
06:24, 7 Августа 26
 В Вологодской области сетевой газ пришел в поселок Кузино
дальше..
|
|
06:20, 7 Августа 26
 Беспилотные тягачи снижают издержки перевозчиков на 15–20% на маршрутах длиной свыше 700 км
дальше..
|
|
06:19, 7 Августа 26
 В Краснодарском крае открыта первая метановая заправка по франшизе «Газпром газомоторное топливо»
дальше..
|
|
06:17, 7 Августа 26
 «Россети Юг» выявили хищение 22,9 млн кВт·ч в I полугодии 2026 года
дальше..
|
|
05:54, 7 Августа 26
 В Европе зафиксирован очередной антирекорд по закачке газа в подземные хранилища
дальше..
|
|
05:51, 7 Августа 26
 «Россети» в 2026 году инвестируют 10,5 млрд рублей в электросетевую инфраструктуру Ставрополья
дальше..
|
|
05:47, 7 Августа 26
 Уральские газовики отремонтировали дефектные участки газопровода-отвода к городу Асбесту
дальше..
|
|
05:38, 7 Августа 26
 «Северсталь Авиа» инициировала патриотическую акцию в честь 85-летия подвига военных летчиков
дальше..
|
|
05:15, 7 Августа 26
 «Т Плюс» заменила в Ижевске 20 км изношенных теплосетей
дальше..
|
|
05:13, 7 Августа 26
 Саратовская ГЭС купила новую мебель для военного госпиталя
дальше..
|
|
05:10, 7 Августа 26
 ДГК готовит котельные к отопительному сезону
дальше..
|
|
04:55, 7 Августа 26
 Опыт России для Латинской Америки: в РЭА Минэнерго прошла встреча с участниками стажировки InteRussia
дальше..
|
|
04:50, 7 Августа 26
 Качканарский ГОК вложил полмиллиарда рублей в капремонт агломашины
дальше..
|
|
04:47, 7 Августа 26
 В Ставрополе повышена надежность газоснабжения исторической части города
дальше..
|
|
04:45, 7 Августа 26
 FESCO и Российско-Киргизский фонд развития будут совместно работать над перспективными проектами на пространстве ШОС
дальше..
|
|
04:42, 7 Августа 26
 Башкирская генерирующая компания построит новый паровой котел на ТЭЦ в Уфе
дальше..
|
|
04:40, 7 Августа 26
 «Россети Новосибирск» обеспечили почти 12 МВт мощности для новых жилых кварталов
дальше..
|
|
04:34, 7 Августа 26
 «НОВАТЭК-Челябинск» определил лучших сотрудников абонентских участков
дальше..
|
|
04:32, 7 Августа 26
 В Хабаровске введен в эксплуатацию газопровод в микрорайоне Красная речка
дальше..
|
|
|
|
На предприятии «Росатома» будет создан первый в России производственный участок по изготовлению особо чистого гексафторида вольфрама. АО «НИИ НПО «Луч» в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку оборудования для производства этого газа.